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第626章 难道没有国外的技术我们就造不出EUV光刻机吗（第1页）

“又卡壳了？”

陈延森看完林南的汇报邮件，眉心微蹙。

他没想到，自己都已经把大门踹开，为他们铺好了路，这帮人却还是没能力往前再走一步。

当前的难点有两方面：

第一，中继镜组中的非球面反射镜，需要将面形精度控制在50皮米以下，表面粗糙度得低于0.1纳米的均方根误差。

换句话说，这相当于要求一块徽安省大小的区域，整体起伏不能超过一张A4纸的厚度。

难度可想而知！

目前，全球仅有灯塔国的赛高、德国的蔡司具备相应水准的镜面抛光工艺。

可受到瓦森纳协定的限制，即便花钱买，也拿不到供货名额。

而哈工大、国防科大和华科协会长春光机所，尽管拥有离子束抛光与磁流变抛光技术，理论上能实现原子级的面形精度，但现实与理论往往存在巨大落差。

这就好比问，国内能造出F1赛车的发动机吗？

按理说，华国不缺能生产金属活塞和气缸的工厂，也清楚内燃机的制造原理。

但F1赛车发动机并非单一部件的简单组合，它是材料学、精密加工、热力学、电子控制系统等顶尖技术的集成体，且对转速、热效率和可靠性的参数标准达到了行业极致。

由此可见，技术原理懂了，要落地到稳定的实际生产中，仍有难以逾越的鸿沟。

明白是一回事，造出来又是另一回事。

第二，镜子打磨完成后，还得在表面镀上40到60对的钼、硅交替薄膜层，且每层厚度的误差都需控制在原子级别。

镀膜环节所需的磁控溅射技术，国内虽有不少研究所已掌握，但在均匀度和精细度上，仍然不符合EUV光刻机的使用需求。

此外，如何精准检测镜面光滑度也是个难题。

没有测量，就没有加工！

检测能力决定了抛光水平的天花板。

2014年华国在高精度干涉仪领域，特别是用于EUV波段的检测设备和技术，根本达不到50皮米的测量精度。

而林南和汪象朝等上百位研发工程师，已是光学赛道的佼佼者，连他们都搞不定的事，再找其他人，大概率也无济于事。

他们尽力了，只是能力有限。

陈延森心里清楚，他要是不出手，这场科研大会战多半要成为一个笑话。

他略一思索，便让林南先把离子束抛光、磁流变抛光和磁控溅射的技术文档发过来。

与此同时。

沪城，星源科技光学研发中心。

林南倚在实验台前，双眼满是红血丝，神色黯淡。

汪象朝坐在一旁，拍了拍林南的肩膀说道：“别着急，车到山前必有路，慢慢啃呗，既然方案都有了，还怕搞不定工艺问题？”

沪城光机所的一名专家点头附和道：“以前我们不需要皮米级别的抛光精度，所以技术进展就慢，现在不一样了，只要搞定照明系统的非球面反射镜，这EUV光刻机的光学系统，就等于拿下了一半的核心技术。”

话虽如此，实验室里的气氛却没怎么缓和。

林南苦笑一声，指着桌上的检测报告：“道理都懂，可现实摆在这里，我们的仪器测试精度仅有亚纳米水准，面形精度够不够，压根不知道。”

这无异于闭着眼睛走路，方向对不对都不确定，怎么提升？

燕京光电所的年轻工程师语气哽咽，一脸绝望地小声呢喃道：“难道没有国外的技术支持，我们就造不出EUV光刻机的核心部件吗？”

这话就像一根钢针，把所有人的信心都给戳破了。

“放屁！人家花了几十年积累的技术，我们才用了几天？这点耐心都没有吗？”

汪象朝猛地站起身，大声反驳道：“一个月时间，我们就把照明系统的方案推演出来了，这说明思路是对的。

我已经和长春、燕京光机所的人沟通好了，接下来大家齐头并进：咱们先攻坚投影物镜系统，等抛光和镀膜技术达标后，再整合各项技术，总能把这块硬骨头啃下来。”

他的话像一剂强心针，让实验室里低迷的气氛稍稍回暖。

林南深吸一口气，跟着站起来说道：“汪老说得对，咱们先按照分工，集中精力攻投影物镜系统的光路设计。”

沪城光机所的专家立刻拿出图纸，指着上面复杂的光路结构：“投影物镜得把照明系统过来的光束精准聚焦到晶圆上，而且要消除各种像差，这对镜片的曲率精度要求比反射镜还高。

我们之前设计的光路，在模拟环境中还存在0.5弧秒的像差偏差，得再优化。”

汪象朝凑到图纸前补充道：“我查过资料，蔡司的投影物镜用了15片高精度镜片，每片的面形误差都控制在20皮米以内。

我们要是能把像差偏差降到0.2弧秒以下，后续工艺跟上，说不定就能赶上他们的水平。”