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第610章 国产光刻机的研发进程至少缩短了十年（第2页）

有人面露难色地担忧道。

林南皱起眉头，看向设备组的主任工程师问道：“蔡司镀膜机在恒温恒湿环境下，能不能把精度稳定控制在0.05到0.1纳米之间？”

设备组的主任工程师想了想，非常严谨地回答道：“连续沉积10层钼硅膜，厚度误差最小0.04纳米，最大0.09纳米，刚好能满足方案要求。

但问题是，每次换靶材、调整激光功率时，误差会出现0.12到0.15纳米的波动，80次沉积下来，累积误差可能会超标。”

林南思索片刻，给了一条解决思路：“那就加一道实时校准的流程，算法组先开发一套膜厚监测程序，跟镀膜机的传感器联动，每沉积10层，就自动暂停，用电子显微镜扫描膜厚。

根据实测数据调整下一轮的激光功率和沉积时间，把单次误差控制在0.05纳米以内。

另外，在镀膜机周围加一圈恒温罩，避免温度的负面影响。”

其他人闻言，顿时豁然明悟。

林南毕竟是沪城光学精密机械研究所的高级工程师，能力和技术兼而有之，又是胡锐晖极力推荐的人才，关键时刻能拿出行之有效的方案倒也正常。

事实上，在陈延森看来，像林南等人，智商、领悟力和创造力都不错，但苦于接触不到EUV光学的顶尖技术，这才像是鬼打墙似的，一直绕弯路。

若是能拥有同等的科研环境，林南未必开发不出一套收集镜系统，可很多事终究没有如果。

而陈延森能搞定这项技术，靠的也是远超常人百倍的精神力，以及能让他进入超频思维状态的【普朗克时钟】天赋。

不然以他原本的能力，或许也能突破这项技术，但要花费的时间，绝对不止半个月。

在拿到“多壳层掠入射椭圆收集镜系统”的技术方案后，星源科技光学部上下，立刻投入全部精力，以最快的速度反复打磨、全力复现，力求将这套系统成功应用到实际生产中。

算法组连夜加班，三天内就完成了膜厚监测程序的开发。

该程序可以实时采集镀膜机的激光功率、沉积时间数据，还能自动生成膜厚误差曲线，当误差超过0.05纳米时，将会触发暂停指令，进而对精度进行实时校准。

由于研发中心还有大量光电所的工程师，所以科学协会的大佬们，没过多久就得知了星源科技的技术突破。

“老胡，你帮我问问，星源科技还缺不缺人？”

沪城光学精密机械研究所的汪象朝，主动拨通了胡锐晖的电话，支支吾吾地说道。

“什么意思？你想辞职？开什么玩笑！”

胡锐晖反问道。

汪象朝可是沪城光学精密机械研究所的中流砥柱，主要的研究方向都在EUV光源领域，前后申请了170余项专利，妥妥的行业大牛。

“老胡啊，星源科技连自研的收集镜系统都弄出来了，你知道这意味着什么吗？再往下走，光源系统就能彻底打通，一旦完成双工件台的研发工作，第一台国产EUV光刻机就有了技术根基，你明白吗？”

汪象朝拿着电话，接连问道。

“老汪，你都一把年纪了……”

胡锐晖幽幽说道。

“放屁！六十岁，正是拼搏的年纪！算了，我还是找林南吧，不管怎么说，我也是他的老领导。”

汪象朝见胡锐晖推三阻四的样子，瞬间气不打一处来。

按理说，他找林南更方便，却有点抹不开面子。

“这套系统的影响力有这么大吗？”

胡锐晖是芯片设计工程师，对EUV光刻技术自然了解，但仅限于表面。

比如一个人吃过蛋糕，也知道这玩意是用哪些材料制作的，但制作步骤和细节是什么，他就不清楚了。

“国产光刻机的研发进程，至少缩短了十年！”

汪象朝语气笃定地给出评价。

胡锐晖深知汪象朝性格严谨，绝不会信口开河，他深吸一口气，终于意识到星源科技的变态之处。

消息层层上报，一份详尽的调查文件，迅速递到了李青松的办公桌上。

“保密管控，再把光学、双工件台和调平调焦领域的科研人员，抽调一部分送去星源科技。”

研讨会是上午开的，决议是当天生效的。

国产EUV光刻机的诱惑力太大了！

只要参与其中，便能从中捞取一份足以载入史册的功绩，这种机会，谁也不愿错过。

李青松的决议下达后，全国范围内的科研资源开始向星源科技汇聚。

三天后，来自沪城光学精密机械研究所、华科协会沈阳自动化所、国防科大等协会的87名专家陆续抵达庐州。

既有汪象朝这样深耕EUV领域数十年的行业泰斗，也有在双工件台、调平调焦系统研发中崭露头角的青年骨干。

就连华卓精科所掌握的65纳米制程双工件台技术，都被送去了沪城。