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第三百四十七章 半导体产业会议（第1页）

六月二十六日，徐申学视察了海湾科技，看到了已经处于量产阶段的HDUV-600型光刻机。

当天晚上，海湾科技也在官网上首次公开了新一代DUV浸润式光刻机HDUV-600进入量产的消息。

并公布了该型光刻机已经交付了第一台给智云微电子，将会用于最先进的等效七纳米工艺。

这也是海湾科技首次对外公布该型光刻机的消息，包括一些详细的技术参数。

这个消息也引来了媒体、业内人士甚至普通人的诸多关注。

当天晚上，七点半新闻重点报告了该消息：本台记者消息，我国先进半导体装备企业海湾科技有限公司已经完成了最新一代DUV浸润式光刻机的研发工作。

新型的HDUV-600型光刻机已经达到国际领先水平，填补了我国尖端半导体装备领域的空白，有力促进了我国半导体制造行业的发展。

海湾科技负责人王道林表示，HDUV-600光刻机的各项技术参数已经达到国际领先水平，乃是当下最先进的光刻机，可以用来制造最低七纳米工艺的芯片

一项设备的研发成功，能够做到上七点半新闻报道的程度，那可不容易，很少有设备能够做到这种程度的。

但是光刻机却是可以！

实际上，这不是海湾科技第一次上七点半新闻，实际上之前在HDUV-400光刻机，也就是第一代DUV浸润式光刻机研发成功后，就已经上过七点半新闻了，而当时的报道时长更长，更重视，还伴随着重要人员的视察……

当时电视报道画面，徐申学都只能站在一旁担任解说，为一群来宾介绍海湾科技的HDUV-400型光刻机，陈述该型光刻机的重要历史意义以及现实意义。

现在报道HDUV-600型光刻机的待遇，说实话都差了点……不过好歹也是关键技术突破，所以常规报道还是会有的。

HDUV-600型研发成功并交付量产，这让国内很多人，尤其是一些自诩业内人士都感叹：是我太保守了。

前几年海湾科技搞出来HDUV-400型号光刻机的时候，也引起了一片舆论的狂欢，不少业内人士也积极参与讨论。

当时也有相关的探讨，那就是：

海湾科技的光刻机，什么时候才能够追上ASML的水准。

毕竟当时的HDUV-400光刻机，其性能也就大概和NXT-1950相当。

而NXT1950出现的时候，那已经是2008年的事了，而该款光刻机也是推动半导体的芯片工艺从以往的六十五纳米，下探到3228纳米工艺的核心设备。

或者说，正是因为有了这款光刻机，才让3228工艺具备了大规模量产的可行性。

海湾科技可是花了好多年才弄出来了核心性能相当，但是生产效率还差一些的HDUV-400型光刻机……但是，这款光刻机历史意义重大，因为该款光刻机的出现，意味着海湾科技突破了一系列DUV浸润式光刻机的关键技术。

当时，人们所畅想的是，海湾科技继续努力，争取三年一个台阶，在解决28纳米工艺之后，三年内解决可以进行双重曝光，能够把工艺下探到10-22纳米工艺的光刻机。

至于更进一步，甚至能够进行四重曝光的光刻机，乐观估计，五年内能够解决就是巨大的胜利。

但是让人没有想到的是，海湾科技在突破了DUV浸润式光刻机的关键技术后，在小型号的快速迭代上进展迅速，几乎一年一个台阶。

去年推出HDUV-500型光刻机，把套刻精度做到了三点五纳米，实现了双重曝光的基本需求，可以用来做十四纳米工艺的芯片，一开始的性能上基本和NXT1965相当，但是不太成熟。

后来海湾科技推出了升级型号HDUV-500A，虽然工作台产能一样，不过性能更好，更稳定，这款光刻机的性能除了产能低一些，其他性能指标基本上和NXT1970持平。

而智云微电子以及隔壁的中芯，还有国内其他一些芯片厂商大规模采购的海湾科技的先进光刻机，其实都不是HDUV-500型号，而是HDUV-500A型。

去年搞出来500型号就已经够夸张的了，结果海湾科技愣是在今年六月份的时候，就交付了更新一代的HDUV-600型，把套刻精度直接拉到了二点五纳米的水准。

这一型号的核心性能水准，已经和NXT1980相当了……虽然还是有着老毛病，因为工作台不太行，所以生产效率低，后续的维护也会比较麻烦，但是还是太吓人了。

而要知道，虽然去年ASML就已经搞出来了NXT1980光刻机，但实际上大规模出货也是在今年年初而已。

而海湾科技的同级别光刻机大规模出货，则是迟了半年左右！

这意味着，双方之间的差距从之前的十多年，再到四五年，然后又缩小到了现在的半年。

这一系列的技术进步速度，让很多人都感觉到不可思议。

别说外人不信了，自己人都不信……太尼玛夸张了。

因此很多人也怀疑，海湾科技是不是抄袭了ASML的技术……还别说，他们没怀疑错，海湾科技还真就直接对着ASML的光刻机抄。

抄就抄了，也没啥好丢人的，毕竟技术路线就那么几条，总不能人家在前头走过的路，海湾科技就不能走了啊。

徐申学也好，海湾科技的研发人员也好，从不避讳这些，能抄就抄，抄不了硬抄……银河安保那边每年都送回来不少技术资料呢，这些技术资料不少都是带着血的，你说不抄就不抄啊？

再者光刻机这东西，原理其实全世界都知道，甚至详细结构的示意图这些都能直接在互联网上搜索到。

但是知道原理，知道结构的人多了去，然而能够真正做出来这种级别光刻机的厂商，目前只有两家：ASML以及海湾科技。

这种级别的东西，把所有详细设计图全部送给你抄，还手把手教你，做不出来就是做出来，海湾科技得到EUV光源系统的完整设计资料都好几年了，还不是没能搞出来……

因为难的不是光刻机的设计本身，而是各子系统！

尤其是各子系统里的各种高精尖的零部件！

DUV光刻机里头的镜片……就摆在那里，各种技术指标全球都知道，有本事你也造一个……