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第一三八六章 光刻机的现状下（第1页）

“董事长，要是Nikon在我们之前，率先攻克157nm激光器技术，率先研发成功65nm制程工艺的光刻机，我们如何应对？”

CTO汤普森知道EUV光刻机不是短时间内能研制成功的，也主张两条腿走路，GCA研究院如今也在研发157nm激光器，由于GCA一直以研发EUV为主，157nm激光器的技术远不如Nikon和SVG，投资10美元，要是能够收购SVG，拿到SVG独有的157nm激光器需要配置的反折射镜头技术，不能反超Nikon，也能同Nikon并肩齐驱。

孙董事长不同意公司收购SVG，汤普森也不理解。

EUVLLC联盟规划投资2亿美元，集合200多位顶尖科学家，目的就是从理论上验证了EUV光刻机的可行性？理论验证完成后，EUVLLC联盟将宣布解散，将研制EUV和EUV光刻机的难题交给GCA，据同行在一起估算，研发投资起码要花50亿美元！

汤普森领导EUVLLC联盟的200多位科学家，研究了2年多，还没有验证清楚EUV光刻机的可行性？

“汤普森院长的担忧也有道理，除了加强研发力量继续研究157nm激光器技术外，艾德里安先生可以同Papken先生接触一下，看对方是否愿意出售反折射镜头技术的专利？价格可以商量?”

Papken是SVG的首席执行官。

孙健本来不想在董事会上谈论收购SVG的事情，但汤普森的提问代表GCA高层的疑惑，不得不正面回应。

当时因为BSEC研究院光源研究所还没有研发成功193nm浸没式光刻机技术，孙健不反对GCA研究院两条腿走路，但BSEC研究院光源研究所去年已经研发成功193nm浸没式光刻机技术，GCA再继续投入巨资研发157nm激光器就是多此一举，但也不能打击众人的积极性。

“好的，董事长！”

艾德里安心里好奇，为什么孙董事长不同意收购SVG？似乎对研发157nm激光器技术不是特别支持，难道还有更好的方法？明白Papken不会低价出售反折射镜头技术的专利。

“汤普森院长，EUVLLC联盟一旦从理论上验证了EUV光刻机的可行性后，要是GCA继续研发EUV光刻机，理论上大概需要多少投资?”

孙健转移话题，也是告诉公司高层，GCA账上的现金流不是多了，而是远远不够。

前世，EUVLLC联盟的几百位顶尖科学家在一起联合研发了6年多，发表了几百篇科研论文，从理论上验证了EUV光刻机是可行的，目的达到，解散了EUVLLC联盟，接下来的实际问题都抛给了ASML，面对如此高深的技术，ASML是选择做还是不做？

ASML一家之力不可能完成研制成功EUV光刻机这项宏伟工程，不得不拿出公司近三成的股权，向下游光刻机重要客户Intel、台积电和三星电子融资了60多亿美元！

据说为了研发EUV光刻机，ASML前前后后在将近20年时间内投入上百亿美元的研发费用。

GCA和Nikon占据光刻机的高端市场，技术水平不分仲伯，但由于高端光刻机用户Intel、IBM、IT、ADM、HP同GCA既是Sematech会员，又是GCA的股东，采用一致对外的策略，GCA的高端光刻机是首选，GCA如今占据全球高端市场份额的近7成，NiKon占3成多。

在技术水平相同的情况下，市场起决定因素。

根据光刻机技术和市场占有率，GCA如今成为名副其实的全球老大，Nikon屈居第二。

Nikon想从GCA的手里抢回Intel、IBM、IT、ADM、HP的高端光刻机订单，只能率先攻克193nm波长的世界性难题，第一个研发成功65nm制程工艺的光刻机才有可能。

在Nikon技术领先的情况下，Intel、IBM、IT、ADM、HP就会以公司的利益为重。

ASML的工程师琼斯带领20多人的研发部门经过3年多时间的研发，于1996年9月，研发成功全球第二款具有自主知识产权的光刻机双工作平台系统，但为时已晚，ASML和其他光刻机公司都购买了BSEC的专利技术，自己生产光刻机双工作平台系统，BSEC负责升级；除了GCA，其他公司生产一台光刻机需要缴纳相当于每台光刻机售价1%的专利使用费。

GCA如今已经升级配套90nm制程工艺的磁悬浮式双工作台系统技术，遥遥领先于ASML的技术，按照专利技术转让协定，BSEC交给了Nikon、ASML、Canon和SVG。

全球光刻机用户已经习惯使用BSEC磁悬浮式双工作台系统技术，ASML在中高端光刻机上还是使用BSEC的，在低端光刻机上使用自研的。

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魏建国等BSEC的高层们都敬佩孙董事长的远见卓识，1999年度，公司光靠这项全球领先的公司发明专利，收取的专利技术转让费就达到公司净利润的16.5%，这些年赚得盆满钵满。

ASML先后在阿姆斯特丹和纳斯达克上市，研发资金有了保障，去年10月，第三个研发成功180nm制程工艺的光刻机，技术水平排在Canon的前面，凭借欧洲和韩国光刻机市场，占据全球中高端市场5成的市场份额。

第三大股东飞利浦公司不看好ASML的发展前景，加上公司电器业务出现问题，造成资金紧张，在高位逐渐清空了ASML的股票，退出了董事会，蔡司集团成为第三大股东。

ASML如今总股本增加到万股（去年10送5股），TIC持有2250万股，占股15%，这些年没有买也没有套现。

ASML在纳斯达克市场上的股票收盘23.5美元，TIC持有的股票市值万美元，1993年，TIC投资了1800万美元，赚了28倍多！

TIC要是在1993年在道琼斯市场上投资1800万美元购买GCA的股票，在今年3月前套现，可以赚329倍！

在孙健的眼里，ASML不仅是一个投资品种，也是一个备胎。

“孙总，据大家私下估算，没有50亿美元的投入，看不到EUV光刻机的影子。”

汤普森感觉压力巨大，孙董事长似乎知道研究EUV光刻机的重要性和难度，投入巨资，最后失败了，GCA可能要破产！

众董事也是一脸惊讶，这是第一次从汤普森的口里得知，即使EUVLLC联盟验证EUV光刻机的可行性，GCA继续研发EUV光刻机，起码还需要50亿美元的研发投入！

一旦失败，对GCA将造成毁灭性的打击，但孙董事长似乎并不担心。