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第1739章 牛肉白吃啦(第2页)

因为王老爷子的留英背景,这个组的沟通算是好的,已经完成了初步磨合……

二组负责掩模台与同步控制。

英方带队的是彼得?史密斯,剑桥大学教授,工程院院士,步进电机控制算法权威,以前做过剑桥与Ibm的合作研究员,实践经验很丰富。

内陆方面派出的是机床研究所研究室主任徐性初。这位以后会是国内专业领域的牛人,但眼下才四十多岁。虽然技术底子很不错,但对上国际权威,被压的根本抬不起头……

三组负责光刻胶材料与工艺。

英国佬来的是帝国理工高分子材料界面专家弗兰克?琼斯,在光刻胶黏附性研究方面有着不俗的造诣。

内陆方面来的是高分子化学专家林尚安。另外,物质结构所卢所长协助材料表征研究。

两边各有所持,这几天一直在试探性的接触,但都有所保留,属于半冷不热的状态……

四组负责晶圆承载台设计。

这方面的工作咱们已经完成的差不多了,只有接触式对准装置套刻精度还差一些。

戴英方面来的是位大牛,剑桥大学教授,两院院士亚历克?布鲁斯。上来就把咱们的设计从头至尾的挑了一遍毛病,可以说批的一无是处。

关键是,只挑毛病不说解决办法,摆出一副“我等着你们求我的架势”,把内陆这边从卢所长到下面的技术员气的鼓鼓的……

五组负责光学对准系统开发与曝光后缺陷检测。

戴英那边是牛津的科林?谢泼德教授,共聚焦显微镜系统的研发者。眼下虽然名声不显,但绝对是专业领域的牛人。

东大派出的是微电子所的老李同志,算是国内半导体检测技术开拓者,俩人各自带的团队属于互补。

但沟通不大顺畅,处于矜持的试探性接触和了解中,合作还无从谈起……

六组负责真空与环境控制系统。

戴英来的是工程院的休?戴维,同时也是伦敦大学教授,真空系统集成专家,参与过欧洲早期光刻设备研发。

内陆来的是物理所的金建中,国内真空技术奠基人,国内的超高真空技术就是他带队搞出来的。

这两位牛人倒是挺融洽,问题是过去几天只顾着技术交流了,正事儿一点没干。

行吧,磨刀不误砍柴工……

最后一组负责机械结构与控制系统联调,和故障诊断流程建立。

戴英带队的是皇家学会的约翰?赖特,系统工程专家,主导过多学科技术整合。

内陆来的是45所的张总工,全程参与了我们现役光刻机的装配工作,技术没的说,经验也很丰富,就是表达能力有点一般。

约翰?赖特做过技术整合,是一帮英国佬里少见的,比较开朗热情,懂得开玩笑,很友善的存在。

但正是因为他的这种“异常”表现,引发了张总工的高度警惕。觉得事有反常,生怕对方带有险恶的目的。

俩人有点剃头挑子一头热的意思……

听了赵小军的情况介绍,曲卓属实没太当回事。主要是陌生造成的,再就是缺乏紧迫感。

至于每个组谁是老大谁是老二……那玩意没有强行任命的,属于各凭本事。哪个能让更多的人信服,哪个就是老大。

都是具有研发与实践经验的成熟科研人员,只要有人帮所有人捋顺一下流程,再稍微一推,整个项目组就能运转起来。

像亚历克?布鲁斯那伙儿的也没大问题。

其它组运转起来,他就算维护自己戴英两院院士的骄傲,也不会让晶圆承载台这一块,拖了整个项目的后腿。

只要能学到真本事,忍受一下他的高傲和坏脾气又能怎么样……

一如既往的中餐加炸鱼、烤肉、薯条组成自助晚餐过后,所有人到大会议室集合。

曲某人没有半句废话,在两块白板上罗列出GcA的dSw4800和小日子尼康刚推出的NSR-1010G的具体参数。

从光源波长到孔径、分辨率、定位精度、曝光效率、对准方式、光刻胶类型、缺陷率和mtbF,进行全方位的对比。

随后又在第三块板子上,罗列出石壁实验室步进式光刻机的预设参数。哪些问题已经解决了,哪些问题等待解决。

然后,问众人:“伙计们,dSw4800将主流制程从3微米推进到了1.5微米。尼康NSR-1010G更进一步,1.3微米将会走出实验室。

而且,我有可靠的消息,他们正在全力攻关,意图将缩小倍率从10比1调整为5比1。

知道那意味着什么吗?

一旦他们取得成功,主流制程大概率被推倒1微米,甚至是800纳米。

我可以告诉你们,我的团队,已经做好了基于800纳米制程的,集成了浮点运算单元的新设计。

现在,请你们明确的告诉我。还需要多长时间,我才能等到你们的成果?”

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