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第512章 吃点小亏也没关系（第1页）

曲卓入行时，正是步进式投影光刻机发展的顶峰时期。

即便后来浸润式光刻机出来了，国内在很长时间里，依旧以干式机为主。

那段时间里，国内就是个破烂王国，佳能的EX3L和5L、尼康的NSR-1010G，ASML的FPA2500，SVGL的MicrascanI，甚至GCA在78年推出的，当时来说已经老掉牙的第一代Stepper都能见到。

接触的多了，曲卓对关联的技术、结构和工艺什么的了解的很详细。

剔除掉其他工艺和流程，只说光刻机本身，作为光源的氟化氪和氟化氩准分子激光……暂时就甭惦记，离得稍微有点远。

眼下国内虽然可以自产高压汞灯，但稳定性和寿命远不达标。

450nm以上的稳定光源，曲卓有“收录”。但只能“买”出成品，没有生产工艺和设备，对应的光刻胶也一样。

至于I线和G线，好像是80年后汉斯先搞出来的。

镜头模组……已经收录到了紫外高透玻璃，抛光、镀膜、校准，对于脑子里的“系统”来说完全没有任何难度。

关键还是老问题，拿不出专用的高精度铣床。别说铣床了，小磨头都不知道去哪“收录”。

至于进一步提升精度的磁流变抛光、离子束抛光那些……唉~约等于让驾校教练的去教潜水，全是知识盲区，太难为人了。

所以，依旧只能想招给内陆提供成品，却没办法完善产业链上的缺失。

尼康和佳能肯定能“摸”到不少玩意，问题是……想个什么招儿呢？

对于一台光刻机来说，技术难度最高的就是光学及相关部分。其它的……虽然“素材”还欠缺很多，但只搞出个唬人的大框，基本谈不上多大的难度。

只要让英国佬以为，我们在技术层面，甚至是实验室层面的完成度已经足够高了。除了欠缺几项关键技术和工艺，主要缺乏的不过是工业化和体系化生产的能力就行。

再加上领先的集成电路设计能力和通用型系统，砝码绝对够重。

综合起来看，曲卓要实现上面的意图……不难，却不能轻易的答应。

可开出什么样的条件，他还真没想好。

小来小去没意思。

要狠了，就算眼下上面没招，捏着鼻子答应了，过后保不齐就会想招找后账。

甭以为位子高的人，就一定大气。不过是更加懂得取舍和权衡罢了。

而曲卓的策略是，本职工作毫无二话，保质保量完成的同时，还会交出超出预期的答卷。

但工作范围之外的事，就得掂量掂量拿捏拿捏了。

不掂量不拿捏，就得让人逮着了往死里攥……

梅宣宁气呼呼的走了，曲卓乐呵呵的相送。

他知道梅老二回去后，肯定会把问题扔回给安全部门，让那帮人自己看着办。

这也是曲卓半步不退的原因。

毕竟今天谈的内容，跟曲卓是不相干的，跟梅宣宁也是不相干的。

如果是梅宣宁的事，态度自然就不一样了。能办的话，制造点难度就给办了。

因为，这位是真大腿，做人也比较讲究，多卖点人情没坏处。一旦后面哪天出了什么纰漏，能顶大用呢。

前提是，得让梅老二知道欠下人情份量有多重。

安全部门甩出来的这档烂事儿，就是个很好的，可以用作称量和比对的参照物……

只要有事忙，时间过得就飞快。

曲卓以记忆中GCA的Stepper为基础，参考佳能的EX3L和尼康的NSR-1010G在稳定性和经济性方面的部分技术，搞了台步进式光刻机的设计出来。

不知道多少次的修改和微调后，最终定稿。

随后，将加工流程拉展，由柜式立体布局变成线式布局。

这样设计有很大的缺陷，增加物料成本和调试难度都是小事。

关键在于拉展后，通过自动轨道进行重复对准和曝光，以及清洗和固化的线程被拉长了。必然会增加误差和被污染的几率，结果就是降低良品率。